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TFS 1200: Sistema ALD de lotes, até 1200x1200mm

Sistema específico concebido para a produção industrial na linha de revestimentos de camadas.

O Beneq TFS 1200 é um sistema de aplicação especifico concebido para a produção industrial na linha de revestimentos de camadas sobre cobre-índio-gálio-dissolvente (CIGS), células solares de película fina.

O tamanho máximo de substrato é de 1200 x 1200 (mm), um recorde mundial reconhecido no tamanho do substrato no ALD.

Beneq_TFS1200 ALD

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