Para investigação ALD, com plasma CCP superior, incluindo a opção Particle ALD.

O TFS 200 é a plataforma de investigação mais flexível jamais concebida para aplicações de I+D

Todos os detalhes do sistema são feitos com flexibilidade, modularidade e facilidade de utilização. Com o TFS 200 a liberdade de desenvolvimento e aplicação do revestimento dependerá exclusivamente do utilizador, não sendo limitada por restrições relacionadas com o sistema.

Beneq_TFS200 ALD

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