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TFS 200R: Investigação ALD espacial

O TFS 200R é utilizado exclusivamente para depositar películas finas em substratos flexíveis.

Pla primeira vez na história da ALD, o sistema TFS 200R do nosso parceiro tecnológico Beneq permite a investigação do comportamento dinâmico de diversas composições químicas precursoras, a simulação da aptidão do processo e a avaliação do desempenho da película em aplicações ALD.

Beneq_TFS200R ALD

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