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TFS 600: Sistema ALD de lotes, até 400x500mm

Sendo o primeiro modelo de reactor da Beneq, demonstrou ser uma ferramenta versátil.

O TFS 600 é um sistema ALD que disponibiliza uma qualidade superior da película fina satisfazendo os sistemas de alto desempenho, robustez e requisitos de fiabilidade. No TFS 600 estes requisitos são tratados pelo design optimizado, uma construção robusta e modular e com componentes de operação e características de segurança integrados.

Beneq_TFS600 ALD

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