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Elipsómetros espectroscópicos

Intervalo espectral: 190 nm (DUV) até 25 µm (IR)
Medições de: espessura, índice de refracção, extinção, etc.
Aplicações: revestimentos ópticos, células solares, etc.

Elipsómetros espectroscópicos SENresearchA mais vasta gama espectral

A família de elipsómetros espectroscópios SENresearch cobre o mais vasto intervalo espectral, de 190 nm (UV) a 3500 nm (NIR) numa só ferramenta. O FTIR é aplicado no infravermelho NIR o que permite uma extensão a 3500 nm da resolução mais alta e a uma velocidade espectral.

Princípio "Step Scan Analyzer"

O princípio "Step Scan Analyzer" é uma característica única da gama de elipsómetros espectroscópios SENTECH. Durante a aquisição de dados, o polarizador e a vasta banda de compensadores são fixados para fornecer a máxima precisão das medições elipsométricas.

Medições ultra-rápidas no infravermelho NIR

O elipsómetro espectroscópio FTIR SENresearch dispõe de elipsometria no infravermelho NIR. Com base nas novas soluções da SENTECH (psi, delta) - os espectros são obtidos em menos de 10 segundos com a acumulação de mais de 1000 comprimentos de onda num intervalo espectral entre 700 e 2500 nm de comprimento de onda. É possível obter uma resolução espectral de menos de 1 nm.

O elipsómetro espectroscópio SENresearch mede a espessura de películas finas, o índice de refracção, o coeficiente de extinção e propriedades relacionadas com os materiais bulk, de camadas e multi-camadas. Podem ser analisados materiais isotrópicos e anisotrópicos, a superfície e o interface de rugosidade, bem como o declive. Além disso, o software da SENTECH SpectraRay / 3 trata os efeitos da amostra como a despolarização, a falta de uniformidade, a dispersão (matriz de Mueller) e a reflexão "back".

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