Elipsómetros laser
Ferramenta de referência de alta precisão para o índice de refracção e espessura da película.
Medição de: espessura, índice de refracção, extinção, etc.
Aplicações: revestimentos AR para PV, películas individuais, etc.
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Elipsómetro laser SE 400adv
O elipsómetro laser SE 400adv permite medir o índice de refracção e a espessura de películas finas transparentes, com uma velocidade de medição muito atractiva, precisão "sub-Angstrom" em espessura e precisão "per mille" na determinação do índice de refracção. Utilizando o elipsómetro laser SE 400adv é possível medir vários ângulos que permitem a caracterização de películas absorventes.
Elipsómetro CER SE 500adv
O elipsómetro CER SE 500adv combina um elipsómetro laser e um reflectómetro num mesmo sistema. Esta combinação permite a reflectrometria de zero graus para a análise rápida de películas finas e para a determinação da espessura de camadas transparentes para o alargamento da gama de espessura medível a 25 microns com a precisão "sub-Angstrom" de um elipsómetro laser.
Opções para elipsómetros laser de mesa
- Microspot
- Mapping (até 200 mm)
- Focagem automática
- Reflectómetro - Célula líquida para medição in-situ
Elipsómetros laser SE 401 In-situ
O elipsómetros laser SE 401 In-situ está concebido para o controlo do depósito e processos de registo in-situ e para medir a espessura e o índice de refracção das camadas em condições de vácuo.